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干式螺桿真空泵的進料介質含有二氧化硫和水。二氧化硫與水結合形成亞硫酸。亞硫酸對金屬有腐蝕作用。為防止轉子和泵腔腐蝕，轉子和泵腔表面涂有特氟龍層。轉子和泵室的腐蝕表明該層損壞，亞硫酸鹽已經腐蝕了泵室。
轉子和泵腔表面層損壞可能有以下三種原因：首先，固體顆粒進入泵腔，導致涂層損壞。其次，化學物質在泵腔和轉子上形成膠體，使轉子和泵腔的涂層碳化變硬并破壞。三、其他原因：1、固體顆粒失效分析，檢查泵的進口設備和管道，沒有發現金屬碎片和鐵屑等自由移動的固體顆粒。2、膠體積碳失效分析
該物質為深棕色。經分析，它含有鐵、碳和氧。它是一種聚合物，如丁二烯和環丁砜，它與管道內壁結合。如果物質粘附在泵腔和轉子表面，則容易碳化和硬化，從而損壞轉子表面層。
干式螺桿真空泵工藝因素分析，干式螺桿真空泵的氣相出口壓力為80kPa(a)，為負壓，而泵的液相出口為常壓。正常情況下，泵出口的液體不能正常進入地下儲液罐，造成回流，造成泵出口液體物質積聚。這些液態物質中含有亞硫酸，亞硫酸在泵出口處的積累對真空泵形成沖擊腐蝕，應該說干式螺桿真空泵出口液體回流是造成泵轉子和泵腐蝕的主要原因。
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