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真空機組為羅茨真空泵和前級泵串聯組成的羅茨真空機組。一般真空極限可達2PA～0.02PA。啟動羅茨真空機組的方法是將機組與抽氣容器相連，打開羅茨真空機組的冷卻水，打開前置泵，然后慢慢打開主閥。此時，羅茨泵開始跟隨。當容器真空被抽到 1000-500 PA 時，打開羅茨泵，直到達到所需的真空。
真空機組在使用過程中，其主要作用是提高真空系統的真空度和高真空環境下的系統抽速。 由于羅茨泵工作過程中沒有氣體壓縮，當羅茨泵直接排放大氣時，吸入口和排氣口之間的壓差會過大，導致真空泵過載，如果單純 增加真空泵電機的功率會導致真空泵過熱，使真空泵轉子之間的小間隙很快因熱膨脹而被卡住。
真空機組運行時，聲音響應均勻，無雜音和不規則的異常振動。注意電機負載和泵部件的溫升。正常情況下，羅茨真空泵最高溫升不超過40℃，最高工作溫度不超過80℃。
為了保證真空機組能夠達到高真空，必須保證真空泵轉子之間的間隙。 因此，在使用真空泵時，必須配備前級泵。 當前級泵將系統內壓力抽到一定范圍后，即可啟動真空泵，避免真空泵過載。 前級泵可以是螺桿真空泵、旋片真空泵、渦旋真空泵等可直接排氣的真空泵。
運行中如出現漏油現象，應立即停止工作，卸壓后進行檢查維修。發現漏油后，羅茨真空泵不得帶壓繼續工作或維修。運行時確保循環冷卻水的進出水口正常。
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