真空機組由各種真空元件組成。它是一種沒有真空室的排氣系統。所有真空裝置均以主泵命名。目前國內真空機組廠家生產的真空機組主要有油擴散泵機組、油增壓泵機組和羅茨泵機組。
低真空抽油機的主泵常有往復式真空泵、油封真空泵、蒸汽噴射泵、水環泵、分子篩吸附泵、油蒸汽噴射泵、羅茨泵等。 低真空抽油機的主要特點工作壓力高,排氣盆大,但抽速相對較低。主要用于真空室的粗抽及真空輸送、真空浸漬、真空過濾、真空干燥、真空脫氣等排氣量大、工作壓力高的裝置。
真空機組生產廠家的低真空抽氣機的使用還需要根據抽氣的潔凈度、濕度或其他特殊要求配備必要的除塵器、干燥器等部件。
中真空油增壓泵機組用于獲得1~10-1pa的工作壓力,極限真空度為10-2Pa。它由油增壓泵、真空閥、疏水閥、低真空截止閥、放空閥、管路、電氣控制板、水壓繼電器等部件組成。
中真空羅茨泵機組的工作真空度為1~103pa 極限真空度為10-1pa。其他部件與油增壓泵組相同。
高真空抽油機的工作真空度為10-2~10-3pa,其極限真空度為10-4Pa。機組的主泵通常有油擴散泵、擴散增壓泵、分子泵、鈦泵、低溫冷凝泵等,這些泵不能直接對大氣工作,需要配備內部預抽泵或前置泵。階段維護泵。一些擴散泵高真空抽油機還配有前級儲氣罐,以防止氣壓波動,提高機組性能。
超高真空抽氣機組在10-6~10-8pa下運行。真空室材料除要求出氣率低、漏風率小、能承受200-450℃高溫烘烤外,對真空機組廠家的要求還包括:主機的極限真空度泵要高,至少在10-7~10-8pa以上。主泵在超高真空工作壓力范圍內有一定的抽速。主泵回氣分壓應足夠低;對被抽氣選擇性強的主泵應配備足夠大的輔助泵;機組主泵進風口上方的管道、閥門等部件的選材和密封要特別注意,一般真空機組采用出氣率低的不銹鋼和金屬密封圈。
聯系郵箱:topvacuum@163.com
聯系電話:張經理 18865336776
聯系地址:山東省淄博市高青經濟開發區東環路中段
掃一掃 加微信